紫外臭氧清洗机是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。它常用于扫描探测显微镜的样品应用，该设备能用于清洗原子力显微镜探针，扫描探针显微镜标准和表面上常规的油渍层和残留的无机材料，也能用来改变物体表面的疏水性，有助于部件和表面的化学改性，经过氧化和硬化处理的探针有利于在扫描过程中保持探针的几何形状，削尖的探针有利于提高侧向分辨率。
臭氧清洗机设备已经用于纳米技术，化学，生物学，光学，电子学，半导体和其他范围内的科学实验室。
紫外臭氧清洗机的特点：
1、UVO基础型采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。
2、自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
3、数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
4、可随时手动中断处理过程。
5、自动记录之前清洗参数设置。
6、样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。
7、顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
8、上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
9、样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
10、UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
11、高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
12、UV反射罩（长x宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
13、双重安全保护，当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示。
14、带进&出气口双气路设计，可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。
15、UVO5可选外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16、可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。