等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。

　　为保证铜引线框架即铜支架在打线和封塑时可靠性，提升良率，通常会使用等离子清洗机对铜支架进行等离子清洗，其等离子处理的效果受多重因素影响，以往大家关注会集中在铜支架自身以及所选用的等离子清洗机设备及参数。但其实料盒本身的几方面因素也会对等离子处理的效果有不小的影响。

　　1、规格尺寸

　　不同规格尺寸的铜引线框架所对应使用的料盒尺寸也是不同的，而料盒尺寸对等离子清洗处理的效果有一定关系，通常来说，料盒的尺寸越大，等离子体进入料盒内部的时间就会越长，对等离子处理的均匀性及效果有所影响。

　　2）间距大小

　　这里所谈及的间距主要是指每层铜引线框架之间的距离，间距越小，等离子清洗铜引线框架的效果和均匀性会相应地变差。

　　3）槽孔特点

　　将铜引线框架放入料盒进行等离子清洗处理，假如四面不开槽，就会形成遮挡，等离子体很难进入，影响处理的效果，与此同时还需要的是屏蔽效应、开槽孔的位置、槽孔大小。

　　此外，料盒的盖子是不是要盖，以及什么时候盖，这些都对等离子清洗效果有影响。